Surface Technology Systems (Sts) Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process

Περιγραφή καταχώρησης

• OEM = Surface Technology Systems Limited (γνωστός και ως STS)
• Μοντέλο = MESC Multiplex ICP ASE
• Τύπος = ICP RIE (επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα, χαρακτικό αντιδρών ιόντων)
• Περιγραφή της διαδικασίας = ASE (Advanced Silicon Etch, Bosch Process)
• Σειρά = 31143
• Μέγεθος Γκοφρέτας = 150mm
o Χωρητικότητα φορτωτή = 2 γκοφρέτες Carousel
• Τύπος τσοκ = Μηχανικός σταθμισμένος σφιγκτήρας
• Αέρια διεργασίας:
o C4F8 = 300 SCCMS
o SF6 = 600 SCCMS
o O2 = 100 SCCMS
o AR = 100 SCCMS
o Τα MFC είναι της σειράς Millipore FC2901
• Turbo Pump = Leybold Mag 2000 CT
• Γεννήτρια RF 1 = ENI ACG-3
• RF Generator 2 = AE RFG 3001 (Advanced Energy)
• Μέτρηση κενού = Όργανα MKS
• Gate Valve = βαλβίδα πύλης τύπου throttling VAT
• Σχισμοειδής Βαλβίδα = Σχισμοειδής Βαλβίδα ΦΠΑ
• Εγχειρίδια = STS MESC Multiplex ICP Operator’s and Modular Parts Catalog
• Φορτίο αντλίας κενού = Edwards Pump E2M40
• Μονάδα διεργασίας αντλίας κενού = Edwards Pump IQDP80 w/IQMB250 Blower (Έξυπνη αθόρυβη διεπαφή)
• Ψυκτικό συγκρότημα = Affinity, PWG-060K-BE33CBC2
• Μονάδα υποστήριξης = Πίνακας ελεγκτή STS / Πίνακας διακόπτη AC

This equipment is located in US


Λάβετε υπόψη ότι αυτή η περιγραφή ενδέχεται να έχει μεταφραστεί αυτόματα.

Πληροφορίες καταχώρησης

Κατασκευαστής Surface Technology Systems (Sts)
Μοντέλο Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process
Έτος 2001
Χώρα USA USA
Κατάσταση Εξαιρετική
Κύρια κατηγορία PCB και ημιαγωγός
Υποκατηγορία Εξοπλισμός Ημιαγωγών
ID P20708003

Σχετικά με τον πωλητή

Τύπος πελάτη Αντιπρόσωπος μηχανημάτων
Στην Kitmondo από 2009
Αριθμός καταχωρίσεων 3
Χώρα USA USA
Εργαζόμενοι 1 - 10
Έτος ίδρυσης 2007
Περιγραφή εταιρείας

​​Since 2007 our company has been a recognized leader in providing world-wide sales, service and advanced technical assistance in support of automated systems utilized in the fabrication and produ… διαβάστε περισσότερα

​​Since 2007 our company has been a recognized leader in providing world-wide sales, service and advanced technical assistance in support of automated systems utilized in the fabrication and production of multiple manufacturing processes.
Our primary area of expertise is providing complete, comprehensive support for the semiconductor manufacturing industry; as well as the numerous sub-industries that are interdependent on the base process of wafer manufacturing. This includes the production processes related to Hard Disk Drive and Memory Storage Devices, Optics and Laser applications, as well as Solar and other Alternative Energy Technologies...

Τελευταία δραστηριότητα Σεπτ. 13, 2022
Επικοινωνία Κάντε κλικ εδώ