Aire acondicionado Temescal Hrs 2550

Descripción del anuncio

Fabricante: Airco
SISTEMA DE SPUTTER AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 OBJETIVOS
VÁLVULA AUTOMÁTICA/MANUAL
BOMBA MECÁNICA DE ACCIONAMIENTO DIRECTO
BOMBA DE DIFUSIÓN
SE PUEDE ACTUALIZAR CON UN ACCESORIO GIRATORIO PARA SOSTENER (4) OBLEAS DE 8"

El Airco Temescal HRS 2550 es un sistema de pulverización catódica. Tiene 3 objetivos, válvulas automáticas/manuales, bomba mecánica de transmisión directa y bomba de difusión. También tiene una fuente de alimentación r/f. Se puede actualizar para reconstruir el cabezal CTI-10 Cryopump con compresor.
Datos técnicos
Dimensiones: 16 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas
diámetro (406 mm x 647,7 mm)
Fijación: soportes de sustrato montados verticalmente en carrusel, capacidad flip-flop opcional
Capacidad: (mínimo) 64 obleas de 2 pulgadas (51 mm)
Blindaje: mínimo 3 rebotes
Calor del sustrato: máximo 3 kW
Número de cátodos: máximo de tres Válvula manual sellada con fuelle de entrada de argón con capacidad de medición

Cubículo de vacío (incluido el gabinete de la electrónica): 82,5 pulgadas de alto (con gabinete
consola superior) x 64 pulgadas de ancho x 40 pulgadas de profundidad (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Fuente de alimentación (incluidas las consolas de control):
36 pulgadas de alto x 25,5 pulgadas de ancho x 25,5 pulgadas de profundidad (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Tasas típicas de deposición estática: 15,000
A/minuto aluminio, 20.000 A/minuto cobre
Distribución: � 5% con enmascaramiento de fuente
Tamaño objetivo: 8,25 pulgadas x 3,56 pulgadas (210 mm x 90 mm)
Voltaje de funcionamiento: potencial de cátodo de -400 a -800 V CC (tasas de deposición máximas en
-400 a -500 V CC)
Potencia máxima de funcionamiento: 5 KW. 0,2 a 7A
Presión de funcionamiento: 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Agua de refrigeración: (0,5 gpm a 20 °C) por fuente

Salida: 5 kW, corriente ajustable desde 0.2A
a 7A; tensión de 50 V CC a 800 V CC;
dependiente de la presión
Ciclo de trabajo: 100%
Medición: corriente de salida, 0 a 1A y 0 a
10A, escala de CC; tensión de cátodo a tierra,
0 a 1,5 kV CC; voltaje de ánodo a tierra,
0 a 150 V CC
Enclavamientos: fuente de alimentación, puertas de cubículos, agua, tapa de la cámara y presión de la cámara
Servicio requerido: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fases

Vacío máximo: rango de 10-8 torr
Bomba de difusión: 5300 litros/segundo, 10 pulgadas de alto x 16 pulgadas de diámetro interior
Bomba mecánica: 35 cfm (1000 litros/segundo, de dos etapas)
Trampa fría: 4,5 litros de capacidad; Superficie de 2600 pulgadas cuadradas (1,67 m2)
Válvula de alto vacío: 16 pulgadas (406 mm) de d.i., con fuelle sellado
Válvula de derivación de alto vacío: 3 pulgadas (75 mm) de d.i., conductancia variable
Válvula de hambruna y válvula de desbaste: 2 pulgadas (51 mm) de d.i.
Accionamiento de válvulas: electroneumático (todas las válvulas de vacío)
Secuenciación de válvulas: manual y automática

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