Herramienta de deposición Ulvac Satella

Descripción del anuncio

Satella tiene una configuración de múltiples cámaras independientes. Se puede utilizar para la producción de dispositivos a todo color, una aplicación difícil para Solciet. Tiene una cámara de transferencia de 7 lados y puede admitir de 2 a 4 cámaras de deposición orgánica según sea necesario.
Viene con un mecanismo de alineación de máscara de alta precisión para dispositivos a todo color de matriz activa. Admite sustratos de 200 mm de diámetro como tamaño de sustrato estándar.
El sistema se desinstaló en condiciones operativas de trabajo.

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