Applied Microstructures Inc MVD 100

Description de l'offre

MICROSTRUCTURES APPLIQUÉES INC MVD 100
Le MVD 100 est un outil utile pour le dépôt de monocouches d'organosilanes. Il peut être utilisé pour créer des surfaces hautement hydrophobes, des surfaces antifouling et des surfaces biofonctionnalisées. Une liste des procédés de dépôt monocouche utilisés dans le système est disponible sur la page Web de l'outil.

Le fonctionnement du système est assez simple. L'outil possède une chambre de réaction et 3 lignes de livraison de vapeur. La ligne 1 est dédiée à la vapeur d'eau qui est utilisée dans certains procédés comme catalyseur. La ligne 2 est dédiée à l'APTMS en raison de problèmes de contamination croisée. La ligne 3 est ensuite utilisée pour tous les organosilanes restants. Chaque ligne comprend une source de liquide, un volume d'expansion relié à un manomètre et un ensemble de vannes de régulation. Pendant un cycle de remplissage de vapeur, la vanne 1 s'ouvre tandis que la vanne 2 est fermée, permettant à la vapeur de s'écouler de la source vers le volume d'expansion. Une fois qu'une pression spécifiée est atteinte, la vanne 1 se ferme. A ce moment, la vanne papillon se ferme et la vanne 2 s'ouvre, permettant à la vapeur de s'écouler dans la chambre de réaction. La vapeur reste dans la chambre pendant une durée spécifiée, puis est pompée. Une source de plasma O2 est également connectée à l'outil à des fins de préparation de surface.

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