Plasmatherm C171149

Description de l'offre

Plasmatherm SLR 730 PECVD /720 RIE • Système autonome de dépôt et de gravure à double chambre 720/720 • Système Windows contrôlé par PC • Chambre à corps en aluminium Plasmatherm 700 • Version Load Lock avec (2) deux modules de traitement • Un PECVD • Un RIE ( Gravure ionique réactive) • Le corps principal du système (composants partagés entre les deux chambres) comprend • Peaux en acier inoxydable • Commandes PC basées sur Windows • Alimentation RFPP - RF5S (500 W - 13,56 MHz) • Réseau de correspondance Advanced Energy AM5 avec tuner • Pompe de verrouillage de charge Leybold D25 ou équivalente • Refroidisseur Neslab HX 75 avec interface RS232 au système • Boîtier de déconnexion électrique - 208 V, triphasé, 60 ampères • Écran plat avec clavier et souris • Ensemble complet de manuels • Le module PECVD comprend • Mandrin chauffant • Contrôleur Watlow • Mandrin de 11" avec type de levage central • Fenêtres optiques pour le contrôle et le diagnostic des points finaux • Leybold D40 avec ventilateur 151 (min.) Pompe mécanique • Contrôleur de jauge ionique MKS 290 et jauge ionique • Contrôleur de jauge MKS TC • 1 ou 2 Torr Bara tron • 4 gaz MFC • Le module RIE comprend • Électrode inférieure • Pomme de douche 11" • Mandrin 11" - type à levage central • Fenêtres optiques pour le contrôle et le diagnostic des points finaux • Détecteur de point final laser Soffie Classe III • Vanne d'accélérateur MKS 153 • Pompe turbo Leybold 361C • Contrôleur turbo Leybold 150/360 NT • Pompe de prévidage mécanique Leybold D40BCS • Baratron 500 mT • Spécification de 4 gaz MFC à partir d'un devis lorsque l'Université a mis à niveau le système après l'achat initial Service de fabrication et d'installation de collecteurs de gaz et de conduites de gaz • Fabrication et installation (4) tiges/lignes de gaz supplémentaires, y compris les vannes Nupro (avec vannes de dérivation incluses), les raccords, les presse-étoupes, les raccords VCR, les MFC et les collecteurs de gaz afin de desservir le système Plasmatherm à double chambre PECVD/RIE tel qu'énuméré ci-dessous. • (2) - collecteurs 4 ports • (2) - bâtonnets de gaz pour l'azote et l'argon pour inclure la vanne nupro, le mfc et la connexion jambe "L" au gaz • (2) - bâtons de gaz avec by-pass (fortement recommandé pour Cl2 et BCl3) , pour inclure 3 vannes nupro et mfc • PCB de commande de vanne 2 - 4 canaux (pour les vannes nupro) • Tube 1/8" pour les vannes nupro (~40 pi) • Re-câblage des connecteurs PCB de commande de vanne pour prendre en charge cela mise à niveau, bouchons, broches et fil si nécessaire • JVIC devra déplacer la connexion d'entrée de purge N2 à son nouvel emplacement (pour prendre en charge l'ajout du collecteur à 4 ports • Les MFC seront nettoyés et calibrés à l'azote pour les débits suivants • (2) pour le côté PECVD du système • Azote – 2000 sccm • Argon – 500 sccm • (2) pour le côté RIE du système • BCL3 - 50 sccm • Cl2 – 50 sccm

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