CVD AMAT Producer-SE

Description de l'offre

Description du produit
  
Description: CVD
Fabricant: AMAT
Modèle: Producer-SE
Taille de la plaquette: 300 mm
Millésime: 2006
Numéro de série:
Lieu: ASIE
Configuration: FI: 5.3
FI PC: Ancien type
FI: Robot: Kawasaki x2 set Flex Controller unit: Missing
 
Chambre-A: UV-Cure Chamber-B: BD? Chambre-C: BD?
 
Conduites de gaz (ancien type)

  
 
Rack d'alimentation UV: Générateur ASTEX

Parties manquantes
Unité de contrôleur Flex, pièces de lame de robot FI
Filtre de puissance de chauffage Ch-B & C, unité de contrôleur IO de chambre Ch-B & C, RPS Ch-B & C, ensemble de couvercle Ch-B & C, kit de processus Ch-B & C
Carte CPU LFC du contrôleur de mouvement MF (mDEOSx2, ATRTx2)
ChamberB & C Lid assy Xfer OTF Sensor Assy Xfer Robot Blade iPump, Chiller
etc.

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