DNS Dainippon DNS S

Description de l'offre

Écran Dainippon DNS SU3000

Millésime: 2005
Statut: Assis sur une base dans un entrepôt en Asie.

Taille de tranche 300 mm
Nombre de chambres 4
Manipulation Frontside
Nombre de ports de chargement 3
Nombre d'armoire chimique 3
Système de transport aérien (OHT) Oui

Port de chargement

 Fabrication TDK
N ° de modèle TYPE? E3
IR

 Fabrication Yasukawa Electric Corp.
Modèle n ° XU-RC350D (manipulateur)
XU-ACT153L (axe de transfert)
FFU

 No modèle PCF-18SU3EA
Matériau Filtre en résine de fluoration
Capacité du filtre à 99,999% ou plus de 0,1 µm de particules
Plage de contrôle d'air 0 ~ 0,4 m / sec
Unité de transfert

 CR

 Fabrication Yasukawa Electric Corp.
Modèle n ° XU-RC615L
FFU

 No modèle PCF-43SU3EB
Matériau Filtre en résine de fluoration
Capacité du filtre à 99,999% ou plus de 0,1 µm de particules
Plage de contrôle d'air 0 ~ 0,6 m / sec
Chambre MP

 Buse Buse BB (plaque de protection)

 buse-1 DIW
buse-2 N2
Buse de numérisation-1

 buse-1 LAL1400
buse-2 HF
buse-3 DIW
Buse de numérisation-2

 buse-1 (type à pulvérisation douce) SC-1
buse-2 (rinçage par pulvérisation douce) DIW
buse-3 DIW
Buse arrière

 buse-1 HF
buse-2 SC-1
buse-3 DIW
buse-4 N2
Base de rotation

 Matériau PCTFE? SiC
Moteur de rotation Servomoteur AC
Revolution Max 3000 tr / min
Accélération Max. 1000 tr / min / sec
Précision de révolution ± 3 tr / min (à 3000 tr / min)
Mandrin

 Entraînement du mandrin Moteur à impulsions
Matériau PCTFE
Détection de tranche Détection par broches de mandrin (par capteur photo)
Plaque de protection

 Matériau HT-PVC
Servomoteur AC à entraînement par révolution
Revolution Max 3000 tr / min
Accélération Max. 1000 tr / min / sec
Précision de révolution ± 3 tr / min (à 3000 tr / min)
Servomoteur AC à décalage haut / bas
Distance à la surface de la plaquette 0,3 mm min.
Splash guard

 Structure Collection chimique
Matériau PTFE
Servomoteur AC à décalage haut / bas
Obturateur

 Vérin pneumatique
FFU

 Modèle n ° PCF-3SU3FC
Matériau Filtre en résine de fluoration
Capacité du filtre 99,9999% de particules 0,1 µm
Plage de contrôle d'air 0 ~ 0,3 m / sec
Unités auxiliaires

 Armoire chimique 1
Contrôle de la température à basse température
HF chimique utilisé (49%)
Rapport de mélange chimique HF: H2O = 1: 2 ou HF
Gamme de contrôle de température RT - 50C
Armoire chimique 2
Contrôle de la température à basse température
Produit chimique utilisé LAL1400
Gamme de contrôle de température RT - 50C
Moniteur de concentration HORIBA CM-210
Armoire chimique 3
Contrôle de la température à basse température
Produit chimique utilisé NH4OH, H2O2, H2O
Rapport de mélange chimique NH4OH: H2O2: H2O = 1: 4: 20 - 1: 1: 5
Gamme de contrôle de température RT - 50C
Contrôle de la température

 Gamme de contrôle de température 20 ~ 30?
Précision de contrôle Régler la température ± 0,5
Filtre

 Produit chimique QCDV ATX TH (Dispo 10inch: Japan Microlis)
0,1? M
DIW STRERAPORE MINI *
0,1? M
N2 WGMXMBSS3 (Japan Microlis)
0,01? M
E-FLOW

 Module SEPAREL PF-001L
Mesureur de résistivité OE-960CE
Capteur de résistivité ESD-001C-T
Câble de capteur CK-10M
Support de capteur EFA-30
Relais MY2N-CR DC24V

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