FEI FEI Quanta 200

Description de l'offre

Quanta 200 3D est un SEM / FIB environnemental polyvalent pour la caractérisation et l'analyse de matériaux 2D et 3D. Doté de trois modes d'imagerie, SEM à vide poussé, à vide poussé et environnement (ESEM), il accueille une large gamme d'échantillons. L'instrument est équipé d'une source d'ions Ga à émission de champ et d'un émetteur d'électrons thermiques. Les technologies habilitantes, intégrées sur une plate-forme unique, comprennent en outre des capacités de fraisage à haut volume, un pompage différentiel ESEM, une pression variable (sans huile)
système à vide, détecteurs d'électrons gazeux secondaires et rétrodiffusés pour l'imagerie et l'analyse dans un environnement de chambre gazeuse, technologie de chimie des gaz pour des taux de fraisage améliorés, un goniomètre à échantillons de haute précision avec une course de 50 mm le long des axes x et y, coupe automatisée sans surveillance avec pleine accès aux fonctionnalités de faisceaux électroniques, de faisceaux i, de modélisation et de chimie des gaz, et à une interface utilisateur Windows 2000 à 4 quadrants "Beam per Quad".
Il est équipé d'un détecteur ThermoNoran à haute résolution d'énergie (129 eV) / SDD à taux de comptage élevé.

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