KLA / TENCOR Candela CS10

Description de l'offre

Offre une sensibilité aux particules <0,08 micron sur les plaquettes de silicium poli
Sensibilité exceptionnelle aux micro-rayures pour l'inspection automatique de la surface des plaquettes, la détection et la classification des défauts sur des plaquettes transparentes et opaques de 2 "- 12".
La technologie de rayons X à double laser optique est bien adaptée aux applications de production en laboratoire et à faible volume.
L'analyseur de surface optique Candela CS10 offre une nouvelle approche pour l'inspection de surface de plaquette sans motif. En combinant deux trajets laser et quatre techniques de détection de surface de plaquette indépendantes, l'analyseur de surface optique CS10 offre une sensibilité exceptionnelle aux particules et aux rayures sur l'optoélectronique et les plaquettes semi-conductrices.
À l'aide d'un mouvement de balayage en spirale rapide, l'analyseur de surface optique CS10 mesure simultanément le déphasage, la lumière diffusée, la lumière réfléchie et la topographie. L'analyseur de surface optique CS10 fournit des données représentées sous forme de cartes d'image haute résolution pour faciliter l'inspection visuelle, ou analysées automatiquement pour détecter et classer les défauts de surface des plaquettes.
La plate-forme compacte CS10 Optical Surface Analyzer est bien adaptée aux applications de production en laboratoire et à faible volume. Cet analyseur de surface optique est facile à apprendre et à utiliser. Cet analyseur de surface optique est le système d'inspection de plaquette idéal pour l'analyse des défaillances et les applications de développement de processus.
 Caractéristiques
Catégorie de produit: Wafer et Thin Film Instrumentation. Type et technologie Système de sondage à facteur de forme Technologie de montage / chargement de plancher Applications et mesures optiques / d'imagerie Applications Mesures de plaquettes Défauts, fossettes ou résidus de film; Contamination des particules Spécifications: Wafer / Part Size 51 to 305 mm (2.0 to 12.0 inch) Interfaces & Features Non contact; Non destructif

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