Lam Research TCP 9600SE

Description de l'offre

Lam Model TCP 9600SE

Gaz de processus: CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, 02, He. Pression de process 0-100 mTorr, puissance de l'électrode supérieure 0 - 125OW, puissance de l'électrode inférieure 0 - 1200W. Température de process 55 ° C. Le monochromateur réglable est utilisé pour la détection des points finaux. Il est équipé d'un module de bande de quartz source découplé (DSQ) pour retirer (retirer) la résine photosensible des plaquettes. Le processus DSQ réduit considérablement la probabilité de contamination des particules et augmente l'efficacité du processus de bande.

Spécifications clés:

 Recette standard 600/601 pour la gravure AI:
Vitesse de gravure: 800 nm / min
Taux de gravure de la résine photosensible: 400 nm / min,
Recette standard 640 pour la gravure AI203:
Taux de gravure: 100-120 nm / min

Taille du substrat:
150 mm de diamètre

Matériaux autorisés:
AI, AI203, Ti02, poly Si, Nb et une variété de nitrures peuvent être gravés en utilisant la chimie CI

Matériaux interdits:
Matériaux non compatibles IC

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