Nikon NSR-1755i7

Description de l'offre

Fabricant: Nikon
Modèle: NSR-1755i7
Sources:
Type d'actif: Stepper
Numéro de série: 94160
Année: 2011
quantité: 1

Informations supplémentaires: Fabricant: NIKON Modèle: NSR-1755i7A Type: i-line Stepper Version: 4 pouces-8 pouces État: excellent Millésime: juin 1992 État de vente: tel quel, où est Quantité: 1 Commentaires: -Toujours installé dans la fab .-Arrêt et mise hors tension. -Il peut être inspecté sur rendez-vous.-Le matériel est en excellent état, sans pièces manquantes.-Le matériel a été légèrement utilisé dans un environnement de R&D pendant environ 2-3 ans. -L'équipement fonctionnait avec des plaquettes de saphir de 4 pouces.-RÉTICULE DE 5 POUCES -Rapport de réduction de 5: 1 -17,5 Champ -O.45 Résolution, NA = 0,5 -Alignement global de 0,18 um wafer en juin 2010.-L'équipement peut être converti pour fonctionner jusqu'à des wafers de 8 pouces en changeant le mandrin de wafer. Nikon NSR-1755i7A - Spécification No. Élément Spécification 1 Résolution 0,50 µm 2 Distorsion de l'objectif (y compris l'erreur d'agrandissement) Dans ± 0,07 µm 3 Contrôle de grossissement dans ± 0,03 µm 4 Zone d'exposition maximale Dans 24,74 mm de dia. 17,5 mm x 17,5 mm à 13,41 mm x 20,14 mm (hori.) (Ver.) 5 Précision du réglage de la liaison du réticule + 0,4 + 0,8 mm (sur le réticule) 6 Puissance d'exposition 600 mW / cm3 ou plus 7 Stabilité d'exposition intégrée à ± 1,4% (30 mJ / cm2 ou plus) 8 Uniformité d'éclairage à ± 1,5% 9 Rotation du réticule Valeur absolue à ± 0,02 µm de la valeur cible Répétabilité à 0,02 µm 10 Répétabilité de l'étalonnage de la mise au point à moins de 0,15 µm (3?) 11 Précision d'alignement WGA X + 3? ≤0,18 µm EGA X + 3? ≤ 0,11 µm 12 Orthogonalité de la matrice à ± 0,2 s 13 Précision de pas à 0,8 µm (3?) 14 Fréquence de pas 11 s ou moins (100 mm) 20 s ou moins (125 mm) 28 s ou moins (150 mm) 15 Débit WGA 21 min 00 s ou moins (125 mm) 21 min 00 s ou moins (125 mm) 22 min 40 s ou moins (150 mm) EGA 21 min 00 s ou moins (100 mm) 21 min 15 s ou moins (125 mm) 24 min 50 s ou moins ( 150 mm) 16 Précision de pré-alignement du réticule ± 2 mm 17 Test opérationnel Système de transfert de plaquette Taux de réussite: 99% ou plus Système de transfert de réticule Taux de réussite: 100% 18 Interchangeabilité ± 0,12 µm (95% ou plus)

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