Novellus C1 150mm

Description de l'offre

Description du produit

Les moniteurs manquent.
Il manque également le générateur LF et certaines pompes
Millésime: 1994
Taille de la plaquette: 6 ″
Configuration: système PECVD, 6 ″
SYSTÈME GAZ
Système de livraison TEOS: Sigma 6,
Système de livraison TEOS: Contrôleur: Oui
Dopé: Oui (pas d'armoire avec outil)
Paquet de microcontamination: Oui
Économiseur de gaz méthane: Non
Panneau de gaz de processus: 8 canaux
Type de MFC: MKS
A1 N2 5L
A2 Si 1L
A3 PH3 1L
A4 B2H6 1L
B1 N2O 10L
B2 NH3 10L
B3 CTF6 20L
B4 O2 20L
SYSTÈME DE VIDE:
Panneau pneumatique: nouvelle génération
Panneau de purge: démarrage progressif
Loadlock Foreline: Avec papillon
Réacteur Foreline :: externe chaud
Pompe de la chambre principale: iQDP80 uniquement (QMB1200 manquant)
Pompe de verrouillage de charge: aucune (QDP80 manquant)
PLAQUE SUPÉRIEURE / CHAMBRE DE TRAITEMENT
Distribution de gaz: complète
Distribution RF: système complet (générateur LF manquant)
Ensemble de bague de chambre: Quartz résistant à la gravure
RF Match Network: Trazar
PLAQUE INFÉRIEURE
RF TC isolé: Oui
RF Shunt / Heater ISO, Manomètre: Oui
TC / Ensemble de chauffage AC: Oui
Bloc de chauffage: entaillé (non présent sur l'outil)
ENSEMBLE DE BROCHE DE TRANCHE
Assemblage de broche: céramique de contact minimum
Indexeur de broche Assy: Geneva Drive
CHAMBRE DE CHARGEMENT
Porte de cassette Loadlock: nouveau style
Wafer On Paddle Sensor: Oui
Station de refroidissement de plaquette: Non
Plateforme: Recherche de broches sans contact
Plate-forme-cassettes: aluminium anodisé utilisé (aucun présent)
TRANSFERT DE PLAQUETTES
Robot: bras unique
ÉLECTRIQUE
Panneau AC principal: nouvelle génération
Panneau AC à distance: nouvelle génération
Alimentation: utilise un nouveau style (non présent)
Configuration du fil de pompe du boîtier CA: configuration de la pompe Edwards
Configuration du fil de verrouillage de la charge de la boîte AC: configuration de la pompe Edwards
SYSTÈMES DE CONTRÔLE
Tableau de bord: Valve Display Controller (Tylan) Oui
Tableau de bord: contrôleur de température (Eurotherm) Oui
Tableau de bord: verrouillage de température excessive (MeterMaster) Oui
Tableau de bord: régulateur de pression à vide (Hastings) Oui
Tableau de bord: Régulateur de pression de papillon (MKS) Oui
Tableau de bord: Régulateur de pression du papillon des gaz, chauffé (Tylan) Oui
Système d'écran tactile: ELO LCD Touch-missing;
Moniteur de maintenance: Monochrome manquant;
Ordinateur: Y2K Pentium
Logiciel: spécifier 4.27
Lecteur de disque: (externe) 3.5
Logiciel d'interface SECS / GEM: Non
Configuration du contrôleur multibus
Multibus: CPU (Standard, Option TEOS) Oui
Multinus: PCB RAM - Slot 3 Oui
Multibus: E / S numériques # 1 emplacement 4 Oui
Multibus: E / S numériques # 2 emplacements 5 Non
Multibus: Slot d'entrée analogique 6 Oui
Multibus: Sortie analogique # 1-Slot 7 Oui
Multibus: Sortie analogique # 2 emplacements 8 Non
Multibus: Lift Indexer-Slot 10 Oui
Multibus: Rotation Indexer-Slot 11 Oui
Multibus: Extension de l'indexeur-Slot 12 Oui
Panneau terminal: nouvelle génération (150/200)
Verrouillage de l'eau, Proteus: Oui
Alarme sonore post-traitement: Oui
Détection de point final: simple
GÉNÉRATEURS RF
Générateur RF haute fréquence: ENI (25N) (OEM-28B)
Générateur RF basse fréquence: absent (ENI PL-2HFN manquant)
Option double fréquence: Oui
Câble de signal à distance (CA99): Longueur de câble (30 ’) Oui
Coaxial HF RF (CA57 ou CA140): Longueur de câble (30 ’) Oui
LF Coax (CA102): Longueur de câble (30 ’) Oui
Câble de signal HF (CA96): Longueur de câble (30 ’) Oui
Câble de signal LF (CA100): Longueur de câble (30 ’) Oui
PEAUX / COUVERTURES
Skins: Panneau avant Oui
Peaux: Panneau latéral avant long, gauche et droit Oui
Peaux: Panneau latéral avant supérieur court, gauche et droit Oui
Skins: Panneau latéral avant inférieur court, gauche et droite Oui
Skins: Panneau latéral arrière (AC principal) Oui
Skins: Option panneau arrière Oui
Skins: Panneau supérieur Oui
Skins: End Computer Cover Cover Oui
Skins: Panneau des installations Oui
Skins: Foreline Cover Oui

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