RECHERCHE LAM d'occasion

Description de l'offre

LAM 9600 AVEC DÉTECTION DE POINT FINAL DEPUIS LAM
FABRICANT : LAM RECHERCHE
Modèle : 9600

La description:
Le Lam 9600 est destiné à graver des couches de métal aluminium et de TiW avec des parois latérales très verticales adaptées à une largeur de ligne de 0,35 um. Le plasma est un plasma couplé à un transformateur de densité moyenne à élevée, similaire aux sources ICP, permettant un contrôle séparé de la puissance de la bobine (électrode supérieure} et de la puissance de la platine (électrode inférieure). Dans la chambre, les plaquettes sont fixées mécaniquement à une platine refroidie à l'eau et He gaz à l'envers
assure le couplage. La chimie C12/BC13 est utilisée pour Al et SF6 pour les couches TiW. L'étape de gravure TiW et de passivation Cl (utilisant également du SF6} peut être effectuée dans le sas de sortie ou dans la chambre principale.

Principales caractéristiques et accessoires :
Gaz de procédé : CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, 02, He. Pression de processus 0-100 mTorr, puissance d'électrode supérieure 0 - 125OW, puissance d'électrode inférieure 0- 1200W. Température de traitement 55°C. Le monochromateur réglable est utilisé pour la détection du point final. Il est équipé d'un module de bande de quartz à source découplée (DSQ) pour retirer (décaper) la résine photosensible des tranches. Le processus DSQ réduit considérablement la probabilité de contamination par les particules et augmente l'efficacité du processus de dénudage.

Spécifications clés :

Recette standard 600/601 pour la gravure AI :

Vitesse de gravure : 800 nm/min,

Taux de gravure photorésistant : 400 nm/min,

Recette standard 640 pour la gravure AI203 :

Taux de gravure : 100-120 nm/min

Taille du substrat :

150 mm de diamètre

Matériaux autorisés :

AI, AI203, Ti02, poly Si, Nb et une variété de nitrures peuvent être gravés à l'aide de la chimie CI

Matériaux interdits :

Matériaux non compatibles IC

Comprend : (1) modèle Lam #9600 4400

A vendre : Lam Model #9600's 4400. Vente "tel quel, où est". Nous n'avons pas la capacité de tester tous les équipements. Ce système a été désinstallé en état de fonctionnement et de fonctionnement.

This equipment is located in US