TEL Unity 2E 855 DD

Description de l'offre

Unity 2e 855 DD ETCH-OXIDE

 En l'état, Ex Works Asia.

 L'outil est remis à neuf, jamais installé.

 Type de chambre: DRM

Version S / W: Ver 3.61-Rev 212

Gaufrette: 200 mm plat

Type de corps principal: large

Test de fonctionnement: entièrement rénové

 Remarque sur la configuration du module
Chambre 2- Chambre
 Type de robot YASKAWA / Twin Arm
 Chambre de transfert de transfert YASKAWA / VS2AT de Robot Drive
Robot Drive Chambre Orientale YASKAWA / VOSH
Pendlum vlaveVAT VAT / 65046-PH52
 Isolation V / V présente
 Manomètre MKS / 627A-13614-S 0,25 Pa
TMP1 SEIKO SEIKI / STP-1303W1
 TMP2 SEIKO SEIKI / STP-1303W1
 TMP TC N / A
 Pompe PC1 N / A
 Pompe TC N / A
 Pompe CC N / A
 TMP Con’t1 SEIKO SEIKI / STP-1303W1
 TMP Con’t2 SEIKO SEIKI / STP-1303W1
 TMP Con't TC N / A
 Générateur 1 ENI / OEM-25B-01
 Générateur2 ENI / OEM-25B-01
 Matcher1 ENI / MWD-25LD
 Matcher2 ENI / MWD-25LD
 Chiller1 SMC INR499-201
 Gaz 8 LIGNE STEC / AERA
 B.HE (CNT) STEC / SEC-7440
 B.HE (EDGE) STEC / SEC-7440

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