Aria Condizionata Temescal Ore 2550

Descrizione dell'annuncio

Produttore: Airco
SISTEMA DI SPUTTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 OBIETTIVI
VALVOLA AUTO/MANUALE
POMPA MECCANICA AD AZIONAMENTO DIRETTO
POMPA DI DIFFUSIONE
PUÒ ESSERE AGGIORNATO CON UN FISSAGGIO ROTANTE PER CONTENERE (4) WAFERS DA 8".

L'Airco Temescal HRS 2550 è un sistema di sputtering. Dispone di 3 target, valvola automatica/manuale, pompa meccanica ad azionamento diretto e pompa di diffusione. Ha anche un alimentatore r/f. Può aggiornare alla testa della criopompa CTI-10 ricostruita con compressore.
Dati tecnici
Dimensioni: 16 pollici di altezza x 25,5 pollici
diametro (406 mm x 647,7 mm)
Fissaggio: supporti per substrati montati verticalmente a carosello, capacità flip-flop opzionale
Capacità: (minimo) 64 wafer da 2 pollici (51 mm).
Schermatura: minimo 3 rimbalzi
Calore del supporto: massimo 3 kW
Numero di catodi: massimo tre valvole manuali con tenuta a soffietto di ingresso Argon con capacità di dosaggio

Armadio sottovuoto (incluso involucro dell'elettronica): 82,5 pollici di altezza (con armadio
console superiore) x 64 pollici di larghezza x 40 pollici di profondità (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentazione (incluse console di controllo):
36 pollici di altezza x 25,5 pollici di larghezza x 25,5 pollici di profondità (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Tassi di deposito statico tipici: 15.000
A/minuto alluminio, 20.000 A/minuto rame
Distribuzione: � 5% con mascheramento della sorgente
Dimensioni target: 8,25 pollici x 3,56 pollici (210 mm x 90 mm)
Tensione di esercizio: da -400 a -800 V CC potenziale del catodo (velocità di deposizione di picco a
da -400 a -500 V CC)
Massima potenza operativa: 5 KW. da 0,2 a 7A
Pressione di esercizio: da 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Acqua di raffreddamento: (0,5 gpm a 20 °C) per fonte

Potenza: 5 kW, regolabile in corrente da 0,2 A
a 7A; tensione da 50V dc a 800V dc;
dipendente dalla pressione
Ciclo di lavoro: 100%
Misurazione: corrente di uscita, da 0 a 1 A e da 0 a
10A, scala CC; tensione catodo-terra,
da 0 a 1,5 kV c.c.; tensione anodo-terra,
da 0 a 150 V CC
Interblocchi: alimentazione elettrica, porte della cabina, acqua, coperchio della camera e pressione della camera
Servizio richiesto: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fasi

Vuoto finale: gamma 10-8 torr
Pompa di diffusione: 5300 litri/secondo, 10 pollici di altezza x 16 pollici di diametro interno
Pompa meccanica: 35 cfm (1000 litri/secondo, doppio stadio
Sifone freddo: capacità 4,5 litri; Superficie di 2600 pollici quadrati (1,67 m2).
Valvola per alto vuoto: 16 pollici (406 mm) d.i., sigillata a soffietto
Valvola di bypass per alto vuoto: 3 pollici (75 mm) d.i., conduttanza variabile
Valvola di carestia e valvola di sgrossatura: 2 pollici (51 mm) d.i
Azionamento valvole: elettropneumatico (tutte le valvole per vuoto)
Sequenziamento valvole: manuale e automatico

This equipment is located in US