MICROSTRUTTURE APPLICATE INC MVD 100

Descrizione dell'annuncio

MICROSTRUTTURE APPLICATE INC MVD 100
L'MVD 100 è uno strumento utile per la deposizione di monostrati di organosilani. Può essere utilizzato per creare superfici altamente idrofobiche, superfici antivegetative e superfici biofunzionalizzate. Un elenco dei processi di deposizione monostrato utilizzati nel sistema è disponibile sulla pagina Web dello strumento.

Il funzionamento del sistema è abbastanza semplice. Lo strumento possiede una camera di reazione e 3 linee di erogazione del vapore. La linea 1 è dedicata al vapore acqueo che viene utilizzato in alcuni processi come catalizzatore. La linea 2 è dedicata agli APTMS a causa di problemi di contaminazione incrociata. La linea 3 viene quindi utilizzata per tutti gli organosilani rimanenti. Ogni linea è dotata di una sorgente di liquido, un volume di espansione collegato a un manometro e una serie di valvole di controllo. Durante un ciclo di riempimento del vapore, la valvola 1 si aprirà mentre la valvola 2 è chiusa consentendo al vapore di fluire dalla sorgente al volume di espansione. Una volta raggiunta una pressione specificata, la valvola 1 si chiude. A questo punto la valvola a farfalla si chiude e la valvola 2 si apre, consentendo al vapore di fluire nella camera di reazione. Il vapore rimane nella camera per un determinato periodo di tempo e poi viene pompato via. Allo strumento è collegata anche una sorgente di plasma O2 per la preparazione della superficie.

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