Strumento di deposizione Ulvac Satella

Descrizione dell'annuncio

Satella ha una configurazione a più camere indipendenti. Può essere utilizzato per la produzione di dispositivi a colori, un'applicazione difficile per Solciet. Ha una camera di trasferimento a 7 lati e può supportare da 2 a 4 camere di deposizione organica secondo necessità.
Viene fornito con un meccanismo di allineamento della maschera ad alta precisione per dispositivi a colori a matrice attiva. Supporta substrati di 200 mm di diametro come dimensione standard del substrato.
Il sistema è stato disinstallato in condizioni operative funzionanti.

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