Usato RICERCA LAM

Descrizione dell'annuncio

LAM 9600 CON RILEVAMENTO ENDPOINT DA LAM
PRODUTTORE: LAM RESEARCH
Modello: 9600

Descrizione:
Lam 9600 è progettato per incidere strati di alluminio, metallo e TiW con pareti laterali altamente verticali adatte per una larghezza della linea di 0,35 um. Il plasma è un plasma accoppiato a trasformatore di densità medio-alta, simile alle sorgenti ICP, che consente il controllo separato della potenza della bobina (elettrodo superiore} e della potenza della piastra (elettrodo inferiore). Nella camera i wafer sono fissati meccanicamente a una piastra raffreddata ad acqua e He gas sul retro
fornisce accoppiamento. La chimica C12/BC13 viene utilizzata per Al e SF6 per gli strati TiW. La fase di incisione TiW e Cl-passivazione (usando anche SF6} può essere eseguita nel blocco di uscita o nella camera principale. Si prevede che la chimica del Cl sia efficace sugli strati AI203 e sulle trincee di silicio con sottosquadro minimo.

Caratteristiche principali e accessori:
Gas di processo: CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, 02, He. Pressione di processo 0-100 mTorr, potenza elettrodo superiore 0 - 125 OW, potenza elettrodo inferiore 0- 1200 W. Temperatura di processo 55°C. Il monocromatore regolabile viene utilizzato per il rilevamento dell'endpoint. È dotato di un modulo strip disaccoppiato al quarzo (DSQ) per rimuovere (strisciare) il fotoresist dai wafer. Il processo DSQ riduce drasticamente la probabilità di contaminazione delle particelle e aumenta l'efficienza del processo di strip.

Specifiche chiave:

Ricetta standard 600/601 per incisione AI:

Tasso di incisione: 800 nm/min,

Velocità di incisione fotoresist: 400 nm/min,

Ricetta standard 640 per incisione AI203:

Tasso di incisione: 100-120 nm/min

Dimensione del substrato:

Diametro 150 mm

Materiali consentiti:

AI, AI203, Ti02, poli Si, Nb e una varietà di nitruri possono essere incisi usando la chimica CI

Materiali proibiti:

Materiali non compatibili con IC

Include: (1) Lam Model #9600's 4400

Vendo: Lam Model #9600's 4400. Vendo "così com'è, dov'è". Non abbiamo la possibilità di testare tutte le apparecchiature. Questo sistema è stato disinstallato in condizioni operative e funzionanti.

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