Airco Temescal Uur 2550

Beschrijving advertentie

Fabrikant: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERSYSTEEM
3 DOELEN
AUTO/HANDMATIGE KLEPPEN
DIRECTE AANDRIJVING MECHANISCHE POMP
DIFFUSIEPOMP
KAN WORDEN OPGEWAARDEERD MET DRAAIENDE ARMATUUR OM (4) 8" WAFERS TE HOUDEN

De Airco Temescal HRS 2550 is een sputtersysteem. Het heeft 3 doelen, automatische / handmatige kleppen, mechanische pomp met directe aandrijving en diffusiepomp. Heeft ook een r/f voeding. Kan upgraden naar herbouwde CTI-10 cryopompkop met compressor.
Technische data
Afmetingen: 16 inch hoog x 25,5 inch
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Bevestiging: carrousel verticaal gemonteerde substraathouders, optionele flip-flop-mogelijkheid
Capaciteit: (minimaal) 64 wafels van 2 inch (51 mm)
Afscherming: minimaal-3 bounce
Substraatwarmte: maximaal 3 kW
Aantal kathoden: maximaal drie met argon inlaatbalg afgedichte handmatige klep met doseermogelijkheid

Vacuümcel (inclusief elektronicabehuizing): 82,5 inch hoog (met kast
bovenconsole) x 64 inch breed x 40 inch diep (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Voeding (inclusief bedieningsconsoles):
36 inch hoog x 25,5 inch breed x 25,5 inch diep (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische afzettingssnelheden: 15.000
A/minuut aluminium, 20.000 A/minuut koper
Distributie: � 5% met bronmaskering
Doelgrootte: 8,25 inch x 3,56 inch (210 mm x 90 mm)
Bedrijfsspanning: -400 tot -800V dc kathodepotentiaal (piekafzettingssnelheden bij
-400 tot -500V gelijkstroom)
Maximaal bedrijfsvermogensniveau: 5 KW. 0,2 tot 7A
Werkdruk: 1 x 10-2 tot 1 x 10-3 torr
Koelwater: (0,5 gpm bij 20 °C) per bron

Vermogen: 5 kW, stroom instelbaar van 0.2A
tot 7A; spanning van 50V dc tot 800V dc;
drukafhankelijk
Inschakelduur: 100%
Meting: uitgangsstroom, 0 tot 1A en 0 tot
10A, gelijkstroomschaal; kathode-naar-aarde spanning,
0 tot 1,5 kV gelijkstroom; anode-naar-aarde spanning,
0 tot 150V gelijkstroom
Vergrendelingen: voeding, kastdeuren, water, kamerdeksel en kamerdruk
Vereiste service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fasen

Ultiem vacuüm: 10-8 torr bereik
Diffusiepomp: 5300 liter/seconde, 10 inch hoog x 16-inch i.d
Mechanische pomp: 35 cfm (1000 liter/seconde, tweetraps)
Koude val: 4,5 liter inhoud; 2600 vierkante inch (1,67 m2) oppervlakte
Hoogvacuümventiel: 16-inch (406 mm) binnendiameter, balg afgedicht
Hoogvacuüm-bypassklep: binnendiameter van 3 inch (75 mm), variabel geleidingsvermogen
Hongersnoodklep en voorbewerkingsklep: 2-inch (51 mm) i.d
Ventielaansturing: elektropneumatisch (alle vacuümventielen)
Ventielvolgorde: handmatig en automatisch

This equipment is located in US