C171149 Plasmatherm Slr 720 Pecvd/720 Rie Reactieve Ionenetsafzettingssysteem

Beschrijving advertentie

Plasmatherm SLR 730 PECVD /720 RIE • Stand-alone Dual-kamer 720/720 Deposition & Etch-systeem • PC-gestuurd systeem met vensters • Plasmatherm 700 Aluminium body-kamer • Load Lock-versie met (2) twee procesmodules • Eén PECVD • Eén RIE ( Reactive Ion Etch) • Hoofdgedeelte van het systeem (gedeelde componenten tussen de twee kamers) omvat • Roestvrijstalen skins • Windows-gebaseerde pc-besturingen • Advanced Energy RFPP - RF5S-voeding (500 W – 13,56 MHz) • Advanced Energy AM5-matchingnetwerk met tuner • Leybold D25 of gelijkwaardige Load Lock-pomp • Neslab HX 75-koelmachine met RS232-interface naar systeem • Elektrische ontkoppelingskast - 208V, 3 fasen, 60 amp • Flatscreen-display met toetsenbord en muis • Volledige set handleidingen • PECVD-module bevat • Verwarmde boorkop • Watlow controller • 11” boorkop met center lift type • Optische ramen voor eindpunt controle & diagnostiek • Leybold D40 met 151 blower (min.) Mechanische pomp • MKS 290 Ion Gauge controller en Ion gauge • MKS TC gauge controller • 1 of 2 Torr Bara tron • 4 gas-MFC's • RIE-module bevat • Onderelektrode • 11” douchekop • 11” boorkop – type met centrale lift • Optische ramen voor eindpuntcontrole & diagnostiek • Soffie Class III Laser eindpuntdetector • MKS 153 Gasklep • Leybold 361C turbopomp • Leybold 150/360 NT turbocontroller • Leybold D40BCS mechanische voorbewerkingspomp • 500mT Baratron • 4 gas MFC's Specificatie uit een offerte toen de universiteit het systeem opwaardeerde na de oorspronkelijke aankoop Gasverdeelstukken en gasleiding fabricage en installatieservice • Fabriceren en installeren (4) extra gassticks/-leidingen inclusief Nupro-kleppen (inclusief bypass-kleppen), koppelingen, pakkingen, VCR-fittingen, MFC's en gasverdeelstukken om het bestaande Plasmatherm PECVD/RIE-systeem met twee kamers te bedienen, zoals hieronder vermeld. • (2) - 4-poorts spruitstukken • (2) - gassticks voor stikstof en argon inclusief nupro-klep, mfc en "L"-poot naar gasaansluiting • (2) - gassticks met bypass (sterk aanbevolen voor Cl2 en BCl3) , inclusief 3 nupro-kleppen en mfc • 2 - 4-kanaals printplaat voor klepbediening (voor de nupro-kleppen) • 1/8" slang voor de nupro-kleppen (~40 ft) • Opnieuw bedraden van de connectoren van de printplaat voor klepbediening om dit te ondersteunen up-fit, pluggen, pinnen en draad indien nodig • JVIC zal de N2-zuiveringsinlaatverbinding naar de nieuwe locatie moeten verplaatsen (ter ondersteuning van de toevoeging van het 4-poorts verdeelstuk • MFC's zullen worden gereinigd en gekalibreerd op stikstof voor de volgende stroomsnelheden • (2) voor de PECVD-kant van het systeem • Stikstof – 2000 sccm • Argon – 500 sccm • (2) voor de RIE-kant van het systeem • BCL3 - 50 sccm • Cl2 – 50 sccm

This equipment is located in US