Optosystemen Ardis 100

Beschrijving advertentie

MW-plasma-verbeterd CVD-diamantsysteem met 2-inch reactor voor de afzetting van zeer zuivere poly-, mono- en nanokristaldiamantfilms evenals koolstofnanobuisjes uit een gasmengsel (4 kanalen). Gebruikt voor de vervaardiging van diamanten AFM-sondes (zie scdprobes.com), geen boordoping gebruikt. Vermogen: tot 6 kW bij 2,45 GHz, gasstroom: 0,1 tot 60 L/h, hoofdmengsels: ?2/??4, ?2/??4/?2, Ar/H2/CH4, doping: N2 (NV kleurcentra). Gecontroleerde wafeltemperatuur tot 1200 gr. Afzettingssnelheid: tot 6 um/uur. Visuele controle, waterkoeling, geautomatiseerde controle.

This equipment is located in EE