TOEGEPASTE MICROSTRUCTUREN INC MVD 100

Beschrijving advertentie

TOEGEPASTE MICROSTRUCTUREN INC MVD 100
De MVD 100 is een handig hulpmiddel voor het afzetten van monolagen van organosilanen. Het kan worden gebruikt om zeer hydrofobe oppervlakken, aangroeiwerende oppervlakken en biogefunctionaliseerde oppervlakken te creëren. Een lijst van de monolaagdepositieprocessen die in het systeem worden gebruikt, is te vinden op de webpagina van de tool.

De bediening van het systeem is vrij eenvoudig. Het gereedschap heeft een reactiekamer en 3 damptoevoerleidingen. Lijn 1 is bestemd voor waterdamp die in sommige processen als katalysator wordt gebruikt. Lijn 2 is gewijd aan APTMS vanwege zorgen over kruisbesmetting. Lijn 3 wordt dan gebruikt voor alle resterende organosilanen. Elke lijn is voorzien van een vloeistofbron, een expansievolume aangesloten op een manometer en een set regelkleppen. Tijdens een dampvulcyclus zal klep 1 openen terwijl klep 2 gesloten is, waardoor de damp van de bron naar het expansievolume kan stromen. Zodra een bepaalde druk is bereikt, sluit klep 1 zich. Op dit moment sluit de gasklep en gaat klep 2 open, waardoor de damp in de reactiekamer kan stromen. De damp blijft een bepaalde tijd in de kamer en wordt dan weggepompt. Voor oppervlaktevoorbereiding is ook een O2-plasmabron op het gereedschap aangesloten.

This equipment is located in US