Commonwealth Scientific ETCH DEP.

Descrição do anúncio

Commonwealth Scientific Sputter System com processador 2015 Intlvac. O sistema de bombeamento é composto por uma bomba de vácuo (Leybold Trivac D40B) (IMG 7550 e IMG 7548) e uma bomba criogênica (Oxford Instruments Cryoplex 8) (IMG 7547 e 7546). O compressor (para a criobomba) possui excelente pressão de hélio (IMG 7545).

Tamanho da Câmara: Dimensões internas sem blindagens de revestimento = 18" (D) x 18" (W) x 24" (H)
Tamanho do Suporte de Substrato: Planeta de 8,00” de Diâmetro
Refrigerado a água: Sim
Tipo e tamanho da fonte do feixe de íons: Commonwealth Scientific 6" RF (primário) Commonwealth Scientific 4" RF (secundário)
Tamanho e tipos de alvos atuais: Alvo de Quartzo de 6" e Tântalo de 6"

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