Ferramenta de deposição Ulvac Satella

Descrição do anúncio

O Satella tem uma configuração de múltiplas câmaras independentes. Ele pode ser usado para a produção de dispositivos coloridos, uma aplicação difícil para o Solciet. Possui uma câmara de transferência de 7 lados e pode suportar de 2 a 4 câmaras de deposição orgânica conforme necessário.
Ele vem com um mecanismo de alinhamento de máscara de alta precisão para dispositivos coloridos de matriz ativa. Suporta substratos de 200 mm de diâmetro como tamanho de substrato padrão.
O sistema foi desinstalado em condições operacionais de trabalho.

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