Surface Technology Systems (Sts) Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process

Descrição do anúncio

• OEM = Surface Technology Systems Limited (AKA: STS)
• Modelo = MESC Multiplex ICP ASE
• Tipo = ICP RIE (Plasma Acoplado Indutivamente, Gravação de Íons Reativos)
• Descrição do Processo = ASE (Advanced Silicon Etch, Bosch Process)
• Série = 31143
• Tamanho da bolacha = 150mm
o Capacidade do carregador = carrossel de 2 bolachas
• Tipo de Mandril = Grampo Mecânico Pesado
• Gases de Processo:
o C4F8 = 300 SCCMS
o SF6 = 600 SCCMS
o O2 = 100 SCCMS
o AR = 100 SCCMS
o Os MFCs são Millipore FC2901 Series
• Bomba Turbo = Leybold Mag 2000 CT
• Gerador de RF 1 = ENI ACG-3
• Gerador de RF 2 = AE RFG 3001 (Energia Avançada)
• Medição de vácuo = Instrumentos MKS
• Válvula de gaveta = válvula de gaveta do tipo estrangulamento de IVA
• Válvula de Fenda = Válvula de Fenda VAT
• Manuais = STS MESC Multiplex ICP Operador e Catálogo de Peças Modulares
• Bloqueio de carga da bomba de vácuo = Bomba Edwards E2M40
• Módulo de Processo de Bomba de Vácuo = Bomba Edwards IQDP80 com Soprador IQMB250 (Interface Inteligente Silenciosa)
• Resfriador = Afinidade, PWG-060K-BE33CBC2
• Módulo de Suporte = Gabinete do Controlador STS / Painel de Disjuntores CA

This equipment is located in US


Observe que esta descrição pode ter sido traduzida automaticamente.

Informações sobre o anúncio

Fabricante Surface Technology Systems (Sts)
Modelo Advanced Silicon Etcher (ASE). Multiplex Bosch Process
Ano 2001
País USA USA
Condição Excelente
Categoria principal PCB e semicondutor
Subcategoria Equipamento semicondutor
ID P20708003

Sobre o vendedor

Tipo de cliente Distribuidor das máquinas
No Kitmondo desde 2009
Número de anúncios 3
País USA USA
Funcionários 1 - 10
Data de constituição 2007
Descrição da empresa

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​​Since 2007 our company has been a recognized leader in providing world-wide sales, service and advanced technical assistance in support of automated systems utilized in the fabrication and production of multiple manufacturing processes.
Our primary area of expertise is providing complete, comprehensive support for the semiconductor manufacturing industry; as well as the numerous sub-industries that are interdependent on the base process of wafer manufacturing. This includes the production processes related to Hard Disk Drive and Memory Storage Devices, Optics and Laser applications, as well as Solar and other Alternative Energy Technologies...

Última atividade Set. 13, 2022
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