Usado 2006 OEG SURFTENSE WH300

Descrição do anúncio

Status da Ferramenta Conectada

Tamanho da bolacha 300 mm

Metrologia da Seção Fab

Descrição do ativo OEG SURFTENSE WH300 [METAL DE INSPEÇÃO DE ÂNGULO DE CONTATO]

Versão do software Windows 2000

CIM?

Inspeção do ângulo de contato do processo

Configuração de hardware (fab):

Ferramenta do sistema principal com câmera + câmara de medição 1

Handler System Sistema de abertura FOUP 300mm 1

Scanner a laser 1 do sistema do manipulador

Efetor final de vácuo do sistema do manipulador 1

Porta de carregamento do sistema do manipulador 300 mm 1

Robô manipulador de wafer de 3 eixos Handler System 1

Interface de Fábrica FOUP 1

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