MICROESTRUCTURAS APLICADAS INC MVD 100

Descripción del anuncio

MICROESTRUCTURAS APLICADAS INC MVD 100
El MVD 100 es una herramienta útil para depositar monocapas de organosilanos. Se puede utilizar para crear superficies altamente hidrofóbicas, superficies antiincrustantes y superficies biofuncionalizadas. En la página web de la herramienta se puede encontrar una lista de los procesos de deposición de monocapa utilizados en el sistema.

El funcionamiento del sistema es bastante simple. La herramienta posee una cámara de reacción y 3 líneas de suministro de vapor. La línea 1 está dedicada al vapor de agua que se utiliza en algunos procesos como catalizador. La línea 2 está dedicada a APTMS debido a problemas de contaminación cruzada. La línea 3 se usa luego para todos los organosilanos restantes. Cada línea cuenta con una fuente de líquido, un volumen de expansión conectado a un manómetro y un conjunto de válvulas de control. Durante un ciclo de llenado de vapor, la válvula 1 se abrirá mientras que la válvula 2 está cerrada, lo que permitirá que el vapor fluya desde la fuente hasta el volumen de expansión. Una vez que se alcanza una presión específica, la válvula 1 se cierra. En este momento, la válvula reguladora se cierra y la válvula 2 se abre, lo que permite que el vapor fluya hacia la cámara de reacción. El vapor permanece en la cámara durante un tiempo específico y luego se bombea. También se conecta una fuente de plasma de O2 a la herramienta para preparar la superficie.

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