Airco Temescal heures 2550

Description de l'offre

Fabricant: Airco
SYSTÈME DE PULVÉRISATION AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 CIBLES
VANNAGE AUTOMATIQUE / MANUEL
POMPE MÉCANIQUE À ENTRAÎNEMENT DIRECT
POMPE DE DIFFUSION
PEUT ÊTRE MIS À NIVEAU AVEC UN FIXATION ROTATIVE POUR TENIR (4) WAFERS 8 "

L'Airco Temescal HRS 2550 est un système de pulvérisation. Il a 3 cibles, une valve automatique / manuelle, une pompe mécanique à entraînement direct et une pompe à diffusion. Dispose également d'une alimentation r / f. Peut mettre à niveau pour reconstruire la tête de cryopompe CTI-10 avec compresseur.
données techniques
Dimensions: 16 pouces de hauteur x 25,5 pouces
diamètre (406 mm x 647,7 mm)
Fixation: supports de substrat montés verticalement en carrousel, capacité de bascule en option
Capacité: (minimum) 64 plaquettes de 2 pouces (51 mm)
Blindage: minimum 3 rebonds
Chaleur du substrat: maximum 3 kW
Nombre de cathodes: maximum de trois vannes manuelles à soufflet d'entrée Argon avec capacité de dosage

Armoire à vide (y compris le boîtier électronique): 82,5 pouces de hauteur (avec armoire
console supérieure) x 64 pouces de largeur x 40 pouces de profondeur (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Alimentation (y compris les consoles de contrôle):
36 pouces de hauteur x 25,5 pouces de largeur x 25,5 pouces de profondeur (915 mm x 650 mm x 650 mm)
Taux de dépôt statique typique: 15000
A / minute en aluminium, 20000 A / minute en cuivre
Distribution: � 5% avec masquage de source
Taille cible: 8,25 pouces x 3,56 pouces (210 mm x 90 mm)
Tension de fonctionnement: -400 à -800 V DC potentiel cathodique (taux de dépôt de pointe à
-400 à -500V dc)
Niveau de puissance maximum de fonctionnement: 5 KW. 0,2 à 7A
Pression de service: 1 x 10-2 à 1 x 10-3 torr
Eau de refroidissement: (0,5 gpm à 20 ° C) par source

Sortie: 5 kW, courant réglable à partir de 0,2 A
à 7A; tension de 50 V cc à 800 V cc;
dépendant de la pression
Cycle de service: 100%
Mesure: courant de sortie, 0 à 1A et 0 à
10A, échelle continue; tension cathode-terre,
0 à 1,5 kV cc; tension anode-terre,
0 à 150V dc
Verrouillages: alimentation électrique, portes de cellule, eau, couvercle de la chambre et pression de la chambre
Service requis: 208/230 V c.a., 25 A, 50/60 Hz, triphasé

Vide ultime: plage 10-8 torr
Pompe de diffusion: 5300 litres / seconde, 10 pouces de haut x 16 pouces d.d.
Pompe mécanique: 35 cfm (1000 litres / seconde, double étage
Piège à froid: capacité de 4,5 litres; Superficie de 2600 pouces carrés (1,67 m2)
Soupape de vide poussé: 16 pouces (406 mm) d.i., scellé par soufflet
Vanne de dérivation pour vide poussé: 3 pouces (75 mm) d.i., conductance variable
Valve de famine et valve de dégrossissage: 2 pouces (51 mm) d.
Commande de vanne: électropneumatique (toutes les vannes à vide)
Séquençage des vannes: manuel et automatique

This equipment is located in US