Tepla 600-AL

Description de l'offre

Modèle : 600 semi-automatique
- Système plasma RF semi-automatique
- Peut traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm
- Utilisé pour le décapage des résines photosensibles et le nettoyage des surfaces, ainsi que pour la gravure du silicium et de ses composés
- Taille de la chambre : 245 mm de diamètre, 380 mm de profondeur
- Matériau de la chambre : céramique
- Générateur RF ENI : 0-600 watts, 13,56 MHz
- Gaz : 4 voies pilotées par 4 MFC
-Pompe à vide Leybold D65B
- Dimensions : 740mm x 624mm x 701mm + connectiques
- Électrique : 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 heures

This equipment is located in US