Instrumentos de pesquisa EUV MBR- METROLOGIA DE MÁSCARA

Descrição do anúncio

Faixa espectral medida < 12,5 a > 14,5 nm
Resolução Espectral ≈ 1,7 pm
Tamanho do ponto medido Tipo. 250x100 μm2 --
Dinâmica do sinal medido > 12 bits ➔ De < 0,01 % a > 60
%
CWL_50 Av. Precisão: ≤ 3 pm
CWL_50 Precisão, 3σ ≤ 1 pm
Reflectividade máxima Av. Precisão Rpico ~ 65% ≤ 0,5% absoluto
Precisão de pico de refletividade Rpico ~ 65%, 3σ ≤ 0,5% absoluto
Reflectividade máxima Av. Precisão Rpico ~ 1% ≤ 0,05% absoluto
Refletividade de pico: Precisão Rpico ~ 1%: ≤ 0,05%: , 3σ ≤ 0,02% absoluto

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