MITSUI Shibaura CDE8

Περιγραφή καταχώρησης

Mitsui Shibaura CDE8 DRY Etch 8 ιντσών

Ακόμα στο FAB
Με SMIF Loader
Ο Εξοπλισμός περιλαμβάνει -Κύριο σώμα, Ελεγκτή, CRT και Πληκτρολόγιο
Μέγεθος γκοφρέτας 200mm
Σύστημα αερίου
5 MFC Tylan FC-2900
CF4, C12, N2, O2, NF3
Προστασία σωλήνων χαλαζία
Κεραμικός σωλήνας
Ηλεκτροστατικό τσοκ.
Ψυκτικό συγκρότημα Neslab HX-75
Πηγή ισχύος 200V- 3PH, 14KVA
Διαμόρφωση:
Μέσα από το Τείχος
Μπροστινό πάνελ SUS
Πλαϊνό πάνελ με επίστρωση Ni
Διεπαφή αντλίας
Edwards EH250 Roots Blower/Edwards Dry Pump

This equipment is located in IE