Axcelis Fusion M200

Description de l'offre

Système de séchage UV Axcelis Fusion M200 PCU
Millésime: 1993

Désinstallé, enveloppé de plastique dans un stockage sec et propre. Prêt pour l'expédition
Détails.
- Panneau de contrôle LCD
- Chargement frontal à double cassette ouverte
- Twin Blade Wafer Hander avec effecteurs en céramique
- Skins S.S.
- Panneaux en plexiglas tous présents
- Cage à cartes entièrement remplie
Emplacement 1: carte processeur 8088
Emplacement 2: Carte de pilote de robot
Emplacement 3: carte d'interface SYS
Emplacement 4: carte de gestion des cassettes
Emplacement 5: ouvert
Emplacement 6: ouvert
Emplacement 7: Carte de contrôle de chambre
Emplacement 8: Carte d'interface de lampe
Emplacement 9: carte de contrôle de la tour
Emplacement 10: carte de pilote LCD
- Filtration HEPA supérieure 99.9999%@0.12um, modèle 2P2U10L-012
- Tension 208V, 60hz, triphasé, 21 ampères / phase

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