KLA-Tencor Surfscan 5000

Description de l'offre

Détails:
SYSTÈME D'INSPECTION KLA-TENCOR SURFSCAN 5000 composé de:

- Modèle: Surfscan 5000
- Peut gérer des plaquettes de 2 "à 8" / 200 mm
- Sensibilité submicronique, détecte les particules de 0,2 micron
- Brouillard de surface détecté aussi bas que 0,3 ppm.
- Gère les surfaces à forte diffusion telles que les métaux, le polysilicium et les films cvd.
- Carte des emplacements et de la taille disponibles pour chaque particule.
- Entièrement rénové pour répondre aux spécifications originales du Surfscan 5000
- Manuel d'exploitation pour KLA Surfscan 5000

Remis à neuf selon les spécifications d'usine comprenant:

- Nouveau laser
- Nouvelles ceintures
- Nettoyez ou remplacez les optiques et les miroirs
- Système étalonné selon les spécifications KLA avec la norme d'étalonnage NIST
- Alignement optique
- Remplacement du capteur indexeur
- Changement de ligne de vide
- Nouveau moniteur LCD 17 "
- Garantie 6 mois
- Garanti pour répondre aux spécifications Surfscan 5000

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