Système de gravure ionique réactive Plasmaquest Rie Astex Mks

Description de l'offre

Vous recherchez un système de gravure à plasma réactif PlasmaQuest / Astex / MKS RIE Plasma Etcher. Il semble être en bon état cosmétique montrant des signes d'utilisation antérieure. Veuillez vous référer aux photos pour plus de détails. Il a un générateur de puissance à micro-ondes PlasmaQuest AX2110 1000W, 4 contrôleurs de débit massique MKS 2 de 1479A52CR1BM et 2 de 1479A13CR1BM, une alimentation MKS Type 260 PS-3, une source de vapeur MKS 115A, une tête Astex et une source de plasma, et une vanne de vanne de TVA . Les contrôleurs de débit MKS fonctionnaient à l'azote, au fréon, à l'argon, au chlore et à l'hydrogène. Cela vient également avec deux moniteurs et un clavier, il n'y a pas d'ordinateur inclus avec cette machine. Malheureusement, je n'ai aucun moyen de tester cet article et il est vendu tel quel. Veuillez noter que cela ne vient pas avec d'autres pièces, câbles ou accessoires.

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