Usagé Edwards Auto 500

Description de l'offre

Evaporateur à faisceau d'électrons Edwards Auto 500 avec boîte à gants Mbraun Labmaster - Reconstruit

Reconstruction terminée juin 2020

Évaporateur à faisceau d'électrons Edwards Auto 306 avec source thermique supplémentaire

Boîte à gants Mbraun 2 ports avec antichambre et purificateur de lit simple (En option : surveillance de l'oxygène et de l'humidité pour la boîte sèche)

Cloche en acier inoxydable avec treuil à couplage pneumatique/magnétique Festo et fenêtre de visualisation

Tout le matériel, y compris les traversées refroidies à l'eau, est installé pour la source thermique à ajouter.

Pompe à spirale Edwards XDS10 6.5CFM

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Source de faisceau d'électrons :

Pistolet à faisceau d'électrons multi-foyers Edwards EB3 à 4 poches

Commande de balayage Edwards EB3 XY

Commande de tourelle Edwards EB3

Contrôleur de dépôt multicouche Kurt Lesker FTC-2800

Alimentation par faisceau d'électrons MDC e-Vap CVS-6 6kW

Contrôleur MDC E-vap

Transformateur de filament ebeam MDC EV-FT-12B-CE

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Nouvelles traversées haute tension CHA pour support de filament installées

Canon à faisceau d'électrons reconstruit et tous les composants nettoyés chimiquement

Test fonctionnel de tous les composants sous vide poussé à 10-6

Test fonctionnel de tous les composants de dépôt

Nouvelle pompe turbo Leybold 450 et contrôleur installés

Contrôleur de dépôt d'épaisseur de film Kurt Lesker FTC-2800 installé

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