descrizione
Aspen 2 - Doppio ICP Produttore : Mattson
Applicazione : Asher / Stripper
Modello : Aspen 2 ICP
Anno : 2001
Dimensione del wafer: 6" o 8" (configurato secondo la richiesta del cliente)
Dettagli Configurazione:
1. Piattaforma a cassetta : SMIF
2. Camera di raffreddamento: installata, nuovo tipo
3. Porta a fessura: nuovo tipo
4. Assetto robot: standard, nuovo tipo
5. Porta a cassetta: 18".
6. Generatore RF: Adtek X 4
7. Blocco calore/raffreddamento: Riscaldatore, nuovo tipo con motivo a scanalature cicliche
8. Scatola di accoppiamento RF: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 gas con STEC MFC
10. Scatola gas: nuovo tipo
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