Limpador Megassônico Verteq Cobra-SAWS

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Ferramenta de processo úmido megassônico semiautomático com tanque químico HF, tanque VcS, robô e tela sensível ao toque, sistema operacional Windows NT ver.2.5, processo de cassetes wafer duplos de até 150 mm, 1 módulo é surfactante/QDR com construção de tanque HALAR, tanque megassônico VcS de PVDF para pré-difusão, a limpeza remove partículas, metais, SIO2 e orgânicos. VcS (limpeza de superfície) usa peróxido de hidrogênio, hidróxido de amônio, surfactante e água deionizada.

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