Semilab CMS3 plaatweerstandsmeetsysteem

Beschrijving advertentie

SNELLE CONTACTLOZE MATERIAALKARAKTERISERING EN PROCESCONTROLE

Emitterplaatweerstand is een primaire kwaliteitscontroleparameter voor siliciumwafels in PV-toepassingen na emitterdiffusie.

De CLS-modellen, CLS-1A, CLS-3A en CLS-5A, Emitter Sheet Resistance Testers maken het meten van de plaatweerstand op 1 tot 5 punten mogelijk met een hoge doorvoer die voldoet aan de eisen van in-line kwaliteitscontrole bij volledig geautomatiseerde celproductie lijnen.

De CMS-modellen, CMS-1A, CMS-3A, weerstandstesters voor emitterplaten maken het meten van wafers mogelijk, d.w.z. dat de transportband niet stopt tijdens de meting. Daarom hebben ze een hoge doorvoer die voldoet aan de eis van in-line kwaliteitscontrole in volledig geautomatiseerde celproductielijnen.

Kenmerken en systeemspecificaties:

Meas. techniek: contactloos, junctie fotospanning (JPV)
Monstergrootte: 100 tot 156 mm (210 mm optie)
Voorbeeldstructuur: np- of pn-verbindingen
Meetbereik: 10 Î/sq. tot 200 I/m2.
Sondeafstand: 1,5 mm sondehoogte boven transportbel
Verticale positietolerantie wafer: < 400 µm
Voorbeeldsteun: op riem
Kalibratie: door wafers geverifieerd met een vierpuntssonde
Opties:

Meetmodule (incl. 1A-5A meetkoppen voor plaatweerstand)
Industriële pc (Windows-besturingssysteem) en randapparatuur
CLS-1M emittercontrole-optie
Wafer-aanwezigheidssensor (alleen CMS)
Grote verscheidenheid aan beschikbare interfaces voor automatisering en MES:

24V optisch geïsoleerde I/O, Ethernet-interface
Profibus
OPC DA
TCP/IP-protocol, inhoud kan XML of ASCII zijn
SQL-database
SEC/GEM

This equipment is located in US