popis
Velikost destičky/podložky: až do průměru 6"/150
Stupnice X,Y, Theta
Rovinnost nad 6": <10 µm
5 µm
Rozsah pohybu: 155 x 155 mm
Zdvih zatížení v ose Y: 90 mm
Rozsah výškového nastavení Z: 10 mm
Kontaktní/oddělovací zdvih Z: 1: 3 mm
Zdvih Theta (standardní):: 360°
Posuv Theta, jemný (volitelný): 360°: ±10°
Sklíčidlo
Rovinnost: 3 µm
Vertikální tuhost 6": <15 µm/10 N
Deska ProbeHead
Typ fixace: Vakuové, magnetické, HF
Rozsah pojezdu: 40 mm
Kontaktní/oddělovací zdvih: 0,2 mm
Opakovatelnost: 1 µm
Nástroje
Vakuum: -0,8 bar
Stlačený vzduch: 4 bar
Rozměry a hmotnost
Šířka x hloubka x výška: 490 x 490 x480 mm
Hmotnost: 60 kg
Upozorňujeme, že tento popis může být přeložen automaticky. Neváhejte nás kontaktovat v případě dotazů. Informace tohoto oznámení jsou pouze orientační. Naše společnost doporučuje před nákupem zkontrolovat podrobnosti u prodejce