FEI FEI Quanta 200

Περιγραφή καταχώρησης

Το Quanta 200 3D είναι ένα ευέλικτο περιβαλλοντικό SEM/FIB για δισδιάστατο και τρισδιάστατο χαρακτηρισμό και ανάλυση υλικού. Διαθέτοντας τρεις λειτουργίες απεικόνισης, υψηλού κενού, χαμηλού κενού και περιβαλλοντικού SEM (ESEM), φιλοξενεί ένα ευρύ φάσμα δειγμάτων. Το όργανο είναι εξοπλισμένο με πηγή ιόντων Ga για εκπομπή πεδίου και θερμικό πομπό ηλεκτρονίων. Οι τεχνολογίες ενεργοποίησης, ενσωματωμένες σε μια ενιαία πλατφόρμα, περιλαμβάνουν επιπλέον δυνατότητες φρεζαρίσματος μεγάλου όγκου, διαφορική άντληση ESEM, μεταβλητή πίεση (χωρίς λάδι)
σύστημα κενού, ανιχνευτές αέριων δευτερευόντων και οπισθοσκεδασμένων ηλεκτρονίων για απεικόνιση και ανάλυση σε περιβάλλον αερίου θαλάμου, τεχνολογία χημείας αερίων για βελτιωμένους ρυθμούς άλεσης, γωνιόμετρο δείγματος υψηλής ακρίβειας με διαδρομή 50 mm κατά μήκος των αξόνων x και y, αυτοματοποιημένη τομή χωρίς επίβλεψη με πλήρη πρόσβαση σε λειτουργίες e-beam, i-beam, μοτίβων και χημείας αερίων και μια διεπαφή χρήστη Windows 2000, 4 τεταρτημορίων "Beam per Quad".
Είναι εξοπλισμένο με ανιχνευτή υψηλής ενεργειακής ανάλυσης ThermoNoran (129 eV) / SDD υψηλής ταχύτητας.

This equipment is located in US