FEI FEI Quanta 200

Descrizione dell'annuncio

Quanta 200 3D è un SEM/FIB ambientale versatile per la caratterizzazione e l'analisi di materiali 2D e 3D. Dotato di tre modalità di imaging, alto vuoto, basso vuoto e SEM ambientale (ESEM), accoglie un'ampia gamma di campioni. Lo strumento è dotato di una sorgente di ioni Ga a emissione di campo e di un emettitore di elettroni termici. Le tecnologie abilitanti, integrate in un'unica piattaforma, includono inoltre capacità di fresatura ad alto volume, pompaggio differenziale ESEM, pressione variabile (senza olio)
sistema sottovuoto, rivelatori di elettroni secondari gassosi e di retrodiffusione per imaging e analisi in un ambiente con camera gassosa, tecnologia gaschimica per velocità di fresatura migliorate, un goniometro per campioni ad alta precisione con corsa di 50 mm lungo gli assi xey, sezionamento automatico non presidiato con pieno accesso alle funzionalità e-beam, i-beam, patterning e chimica dei gas e un'interfaccia utente "Beam per Quad" di Windows 2000 a 4 quadranti.
È dotato di un rilevatore SDD ThermoNoran ad alta risoluzione energetica (129 eV)/alta velocità di conteggio.

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