Μεταχειρισμένο 2010 ASM Eagle XP5 PEALD

Περιγραφή καταχώρησης

Κατάσταση εργαλείου: Αποεγκατεστημένο και σε κιβώτιο και σε αποθήκευση. (Μάρτιος 2023)

Μέγεθος γκοφρέτας 300 mm

Σύστημα διεργασίας PE-ALD

Έκδοση λογισμικού Λογισμικό Eagle I ASMJ (ενσωματωμένα Windows XP / OS)

Πλήρες σετ σχηματικών σχεδίων και ρυθμίσεων διατίθεται κατόπιν αιτήματος.

Διεργασία PE-ALD Oxide, HT-SiO/HT-SiN

Διαμόρφωση υλικού (fab):

Κύριο σύστημα ASM PE-ALD System Mainframe 1

Σύστημα χειρισμού FI: Kawasaki / Vac: JEL 1

Εργοστασιακή διεπαφή FOUP 2

Σύστημα επιλογών

Θάλαμος διαδικασίας άλλων (RC3 / RC4) 2

This equipment is located in DE