MRL Bandit 218 Furnace

Περιγραφή καταχώρησης

Κλίβανος LPCVD 200mm
σωλήνας 1: TEOS/ανόπτηση
σωλήνας 2: Νιτρίδιο/πολυ, συνδέσεις αερίου: χαμηλός αέρας N2, N2, FG1, Ar, O2, SiH2Cl2(DCS), SiH4, NH3
2 αντλίες κενού Kashiyama με φυσητήρες
Ελεγκτής πηγής πρόσμιξης Schumacher M-Dot
Διαστάσεις φούρνου: 66x36x78
Διαστάσεις μονάδας αερίου: 18x36x78
Απαίτηση ισχύος: 480v, 250 amps μέγ

This equipment is located in US