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Four LPCVD de 200 mm
tube 1 : TEOS/recuit
tube 2 : nitrure/poly, connexions gaz : air faible N2, N2, FG1, Ar, O2, SiH2Cl2(DCS), SiH4, NH3
2 pompes à vide Kashiyama avec surpresseurs
Contrôleur de source de dopant Schumacher M-Dot
dimensions du four: 66x36x78
module à gaz dims: 18x36x78
puissance requise : 480 v, 250 ampères maximum
This equipment is located in US
Fabricant | MRL |
Modèle | Bandit 218 |
Année | - |
Pays | USA |
Condition | Bonne |
Catégorie | PCB et semi-conducteur |
Sous-catégorie | Four |
ID | P403140111 |
Type de client | Marchand |
Sur Kitmondo depuis | 2019 |
Nombre d'offres | 50 |
Pays | USA |
Dernière acitivité | mars 14, 2024 |
Contact | Cliquer ici |