DNS WS-820 L

Description de l'offre

Taille de la plaquette 200 mm
Débit de plaquette de gauche à droite
Cassette incluse
Composants à inclure:
Corps principal - 1 unité
Chargeur - 1 unité
Déchargeur - 1 unité
Deux robots pour les systèmes de transfert de bain à bain - un robot pour les plaquettes humides et un pour les plaquettes sèches;
Bras de robot à quartz enduit de téflon - 2 unités

Bain en silicone poreux double face - 1 unité
Boîtier de disjoncteur électrique pour la réglementation de sécurité américaine
Manuels sur CD-ROM
Le matériau est FM-PVC pour répondre aux critères FM4910
Description du système:
Position 1: chargeur (type CTC)
Position 2: CHCL (Robot Chuck Clean)
Position 3: PS (bain de silicium poreux simple face)
Position 4: QDR (Quick Dump Rinse)
Position 5: SD (Spin Dryer)
Position 6: Déchargeur (type CTC)
Autres composants:
Notch Aligner
Compteur de plaquettes

Fonction de réapprovisionnement IPA pour bain PS (avec anti-explosion)
Fonction de réapprovisionnement HF49% pour bain PS
Système d'extinction d'incendie pour baignoire PS

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