ASM Eagle XP5 PEALD

Description de l'offre

Taille de plaquette 300 mm
Processus du système PE-ALD
Version du logiciel Logiciel Eagle I ASMJ (Windows XP/OS intégré)
Consultez le fichier de configuration ci-dessous pour le télécharger avec d'autres documents.
Ensemble complet de schémas disponibles sur demande.
Procédé Oxyde PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Configuration matérielle (fab) :
Système principal Système ASM PE-ALD Mainframe 1
Système de manutention FI : Kawasaki / Vac : JEL 1
Interface d'usine FOUP 2
Système d'options
Autres Chambre de Processus (RC3 / RC4) 2
Configuration matérielle (subfab/unités auxiliaires) :
Support d'alimentation 1
Statut de l'outil : Désinstallé, mis en caisse et stocké. (mars 2023)

L'ASM Eagle est comme neuf. Il n’a jamais été utilisé en production et uniquement pour tester des plaquettes. Une chambre avait un problème de papillon des gaz et un problème de génération RF. Le RF Gen a été remplacé, mais ils n'ont pas remplacé le papillon des gaz, une seule chambre a donc été utilisée pour tester les plaquettes. Le panneau de gaz liquéfié n’a pas été utilisé. Il y a 2 MFC de rechange inclus.

Cette machine avancée utilise la technologie de dépôt de couche atomique assistée par plasma (PEALD) pour créer des revêtements ultra-fins et uniformes sur une variété de matériaux de substrat. Il est capable de produire des revêtements d’une uniformité et d’une reproductibilité exceptionnelles, ce qui le rend idéal pour une large gamme d’applications dans l’industrie des semi-conducteurs.
L'ASM Eagle XP5 est un outil polyvalent qui peut être utilisé pour déposer une large gamme de matériaux, notamment des métaux, des oxydes et d'autres composés. Il est également capable de fonctionner dans une gamme de pressions et de températures de processus, ce qui le rend adapté à une utilisation dans divers environnements de fabrication.
En plus de ses capacités de revêtement impressionnantes, l'ASM Eagle XP5 est également conçu dans un souci de durabilité et de facilité d'entretien. Il présente une conception robuste et s'appuie sur la réputation d'ASM en matière de production d'équipements fiables et de haute qualité.

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