EVG 501

Description de l'offre

EVG 501 BONDER composé de:

Modèle: EV 501

Unité de commande de chambre de liaison universelle

Chargement et déchargement manuels des mandrins et des plaquettes
Conception de chambre ergonomique accessible avec chargement par le haut
Compatibilité totale des processus et des recettes avec les systèmes de liaison de production EVG
Outil de manutention pour le déchargement d'outils de collage à chaud
Déclaration de conformité CE (Certification effectuée par EVG)
Environnement d'exploitation contrôlé par PC
Disque SSD et disque dur
Interface utilisateur graphique pour le traitement manuel et entièrement automatisé des obligations
Système de sauvegarde DVD: logiciel système et outil de sauvegarde intégrés

Logiciel:
Logiciel basé sur MS-Windows
Enregistrement automatisé des paramètres de processus
Stockage de fichiers et de presets sur disque dur ou réseau
Niveaux d'accès protégés par mot de passe pour l'opérateur, l'ingénieur et la maintenance

Module de liaison:
Radiateurs 6 "
Chambre de liaison standard avec éléments chauffants latéraux supérieur et inférieur
Jusqu'à 450 ° C et 3,5 kN (790 lbf)

Capacités atmosphériques:
Jusqu'à 2 mbar abs. pression
3 Barres abs. pression

Connexions séparées pour l'évacuation et la ventilation
Régulateurs de température indépendants pour les côtés supérieur et inférieur
Régulateur de pression électronique pour une force de contact contrôlée

Augmentation de la force du piston jusqu'à 7 kN (1560 lbf)
Résolution: 7N étapes

Disque de pression pour plaquette 4 ":
Matériel à définir sur commande
Ensemble de couches conforme

Mandrin de serrage 4 "universel:
Pour le collage de plaquettes alignées mécaniquement
Permet le contact des plaquettes sous vide
Insert d'outil
Drapeaux de séparation

Matériel sous vide avec pompe d'ébauche:
Évacuation sur la pompe d'ébauche avec connecteurs et vannes pour chambre
Temps de remplissage de gaz <45 s du vide à 1 bar de pression absolue
L'équipement de mesure comprend une jauge à vide pour la pression de base de l'équipement pour afficher le vide de la chambre sur le PC
Commande d'attente pour le niveau de pression
Pompe d'ébauche sans huile avec une capacité de pompage de 3 m / h à vide ultime dans la chambre 2 mbar abs
Temps de pompage de la température ambiante à 5 mbar abs. pression <90 s

Dispositif de protection antisismique pour système manuel
Précautions de sécurité pour éviter le glissement de la machine en raison de fortes vibrations de choc
Optimisé pour le poids / la taille du système et le risque de terre régional

This equipment is located in US