EVG 620TBR

Description de l'offre

EVG 620 MASK ALIGNER SYSTEM composé de:

- Modèle: EVG 620TBR
- Aligneur de masque automatisé
- Alignement supérieur (TSA)
- Alignement inférieur (BSA)
- Alignement automatique
- 3 stations de cassettes Ergo Load Cassette Station
- Manipulation de cassette à cassette (peut également fonctionner en mode manuel)
- Capacité de plaquette jusqu'à 6 "/ 150 mm (avec mandrin approprié)
- 10x objectifs (Qté 4)
- Mandrin à vide: à déterminer au moment de la commande
- Porte-masque: à déterminer au moment de la commande
- Peut être utilisé en modes d'exposition de proximité, de contact doux, de contact dur ou de contact sous vide (avec un outillage approprié)
- Les échanges d'outils sont rapides, simples et peuvent être effectués en quelques minutes
- Optique d'exposition: Type C, 350 nm - 450 nm, large bande
- Lamphouse: 500W Lamphouse
- Étape d'alignement motorisé (directions X, Y, Thêta) sur le joystick à 3 axes
- Interface utilisateur basée sur Microsoft Windows
- PC système, clavier, câbles
- Manuel d'utilisation de l'EVG 620
- Millésime: 2002

LE PROCESSUS DE REMISE À NEUF DU MASQUE DE CLASSONE consiste en:

1) Corps du système principal:
- Miroir ellipsoïdal remplacé par un nouveau
- Lampe UV remplacée par une nouvelle
- Miroir à lumière froide inspecté et remplacé au besoin
- Rétroviseur avant tournant inspecté et remplacé au besoin
- Lentille avant inspectée et remplacée au besoin
- Alimentation de la lampe testée et réparée ou remplacée selon les besoins
- Optique d'exposition testée
- Ensemble de microscope inspecté et ajusté au besoin
- Alignement optique complet du microscope effectué selon les besoins
- La machine est entièrement testée pour vérifier la conformité aux spécifications d'origine
- Tête WEC reconstruite au besoin
- Régulateurs pneumatiques inspectés et remplacés au besoin
- Les capots des machines sont repeints ou remplacés selon les besoins

2) Tableau d'isolement:
- Sacs gonflables de table d'isolement inspectés et remplacés au besoin
- Régulateurs pneumatiques inspectés et remplacés au besoin
- Lignes aériennes inspectées et remplacées au besoin
- Roues inspectées et remplacées au besoin
- Pieds de nivellement inspectés et remplacés au besoin

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