GaSonics Novellus PEP L3

Description de l'offre

GASONICS NOVELLUS PEP L3510A Asher 200mm Configuration

 Type d'installation: autonome
Application: élimination de la résine photosensible
Version du logiciel: v3.71
Interface cassette: (2) Asyst Integrated SMIF
Wafer Handler: Dual Blade, Modèle: XU-RCM4700 rev 3

Module gauche:
Modèle: PEP 3510A (L)
Config: 95-0481
Puissance: 208 V, 30 A, monophasé / WYE, 60 Hz
Type de kit source / processus: Quartz
Type de platine: Standard
Alimentations:
MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Heures: 4057.6
Configuration du gaz du module gauche:
N ° de gaz / Débit de gaz (sccm) / MFC Mfgr. / Modèle MFC
1 O2, 4000, Brooks 5964
2 N2, 200, Brooks 5964
3 N2H2, 4000, Brooks, 5964

Module droit:
Modèle: PEP 3510A (R)
Config: 95-0482
Puissance: 208 V, 30 A, monophasé / WYE, 60 Hz
Type de kit source / processus: Quartz
Type de platine: Standard
Alimentations:
MWave PS: AGL C13170 (1250W)
Heures: 2454.8
Configuration du gaz du module droit:
Gaz # / Gaz / Débit (sccm) / MFC Mfgr./ MFC Model
1 O2, 4000, Brooks 5964
2 N2, 200, Brooks 5964
3 N2H2, 4000, Brooks 5964

Section principale:
Modèle: PEP 3510A (H)
208 V, 150 A, monophasé / YEUX, 60 Hz
Heures d'utilisation: 35 504
Interface SECS / GEM

Sauvegarde des données de pré-vérification de la machine principale: Oui
Produit chimique utilisé: Non
Gaz toxique utilisé: Oui
Sortie de la pompe à gaz: Oui
Rinçage de la conduite de gaz: Oui
Déconnexion: connexion interne: Oui
Chambre de traitement pm: Oui
Ligne de pompage propre: Oui
Bouchon de conduite de gaz: Oui
Fixation et emballage des pièces mobiles: Oui
Millésime 1998.

This equipment is located in IE