Graveur de métaux LAM TCP9600SE

Description de l'offre

LAM TCP9600SE Metal Etcher disponible pour clé en main pour inclure la remise à neuf, l'installation et la garantie.

La remise à neuf comprend une mise à niveau vers le mandrin ESC et une mise à niveau logicielle avec Envision.

Le système VDS est de type manuel (pas de type à remplissage automatique, ne peut pas être mis à niveau)

 
Taille de la plaquette: 150-200 mm
 

Configuration actuelle:

Corps principal configuré pour une plaquette de 6 pouces

Une chambre de traitement

Configuré pour le processus de gravure du métal

Une ELL CHAMBER

Une chambre DSQ

Une chambre APM

Système de remise automatique de cassette à cassette

Mandrin STD 150 mm

Type de mandrin: pince STD

TYPE DE CHAUFFAGE DSQ: pagaie

Système STD-EPD

SYSTÈME D'HÉLIUM STD-BACK

SYSTÈME DE COMMANDE DE CHAUFFAGE STD (12 CANAUX)

Type de système: classique

trois générateurs RF

UN TCU: MW TCU

Une fissure

Trois pompes sèches

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